第187章 極紫外光源的進展

　　光學(xué)技術(shù)研發(fā)實驗室

　　徐華和李默這兩位負責人正在為極紫外光源技術(shù)的幾個問題進行討論。

　　“李博士，雖然我們有復(fù)眼鏡頭的加持，但是在靶材、碎屑污染也是問題?。　?p>　　徐華有些犯愁。

　　雖然說蜂巢復(fù)眼鏡頭技術(shù)的出現(xiàn)，從某種程度上解決了極紫外光源的核心鏡片問題，但是仍舊有一些問題存在。

　　眾所周知，EUV極紫外光刻機最為關(guān)鍵的部件就是極紫外光源，這就不用多說了。...